特許
J-GLOBAL ID：200903064608881712
光学ディスク用スタンパの電解脱脂洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-035973
公開番号（公開出願番号）：特開平9-228100
出願日： 1996年02月23日
公開日（公表日）： 1997年09月02日
要約：
【要約】【課題】 局所的に存在する光学ディスク用スタンパ上の異物をより効率的な洗浄を可能とする電解脱脂洗浄装置を提供することにある。【解決手段】 光学ディスク用スタンパの電解脱脂洗浄装置において、被洗浄物であるスタンパの幾何表面積よりも、対極の幾何表面積の方が小さいことを特徴とする光学ディスク用スタンパの電解脱脂洗浄装置を作り使用する。
請求項（抜粋）：
光学ディスク用スタンパの電解脱脂洗浄装置において、被洗浄物であるスタンパの幾何表面積よりも、対極の幾何表面積の方が小さいことを特徴とする光学ディスク用スタンパの電解脱脂洗浄装置
IPC (2件)：
FI (2件)：
C25F 7/00 K
, C25F 1/00 A
