特許
J-GLOBAL ID：200903064611745340
周期変調回折格子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-008415
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206620
出願日： 1997年01月21日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 導波路の上部に抵抗が導波路方向に変化する抵抗加熱膜を設けることにより、素子作製プロセスが非常に容易であり、グレーティングのチャーピングの大きさ、及びチャーピングの変化の大きさを可変にすることができる(電流供給時に導波路方向に向かってブラッグ波長が低減する)周期変調回折格子を提供する。【解決手段】 InP等の半導体クラッド層上に回折格子のついた光導波路2を設け、クラッド部よりも屈折率の大きい半導体材料(InGaAsP)で構成する。更に、InP等の半導体クラッド層、絶縁層を形成し、その上に抵抗加熱膜5を形成する。この周期変調回折格子10は上方から見ると、金等からなる電極パッド6が設けられ、光導波路2は点線で示すように、端面Pから端面Qに向かって一定の幅に形成されている。また、抵抗加熱膜5は端面Pから端面Qに向かって次第に広がり、その幅が導波路方向に変化している。
請求項（抜粋）：
回折格子が形成されている導波路の近傍に導波路方向に抵抗が変化し、電流供給時に導波路方向に向かってブラッグ波長が変化する抵抗加熱膜を配置することを特徴とする周期変調回折格子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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