遮光膜及びその形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-244867
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094914
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】薄膜で、十分な遮光度、パターン精度を有する遮光膜及びその形成方法を提供する。【構成】加熱により不可逆的に黒色とされた化合物を、黒色顔料として含有する遮光膜である。この遮光膜は、加熱により不可逆的に黒色化する化合物を含む樹脂組成物の塗布層をフォトリソグラフィー法によりパターンニングした後、加熱により前記化合物を黒色化することにより形成される。

請求項（抜粋）：

加熱により不可逆的に黒色とされた化合物を黒色顔料として含有する樹脂パターンを具備することを特徴とする遮光膜。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 , G02F 1/1335

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-006151
特開昭61-006150

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