特許
J-GLOBAL ID：200903064628576991
光学式変位測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-308123
公開番号（公開出願番号）：特開平8-145726
出願日： 1994年11月16日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】 スケール部分の回折格子の取付精度によって測定精度が大きく変化する従来の光学式変位測定装置を改良し、スケール部の取付角度誤差による干渉状態の変動がおきない、精度の安定した取扱い易い光学式変位測定装置を得ること。【構成】 発光素子からの光束をヘッド部内の第1の回折格子を介して特定次数の2つの回折光に分割し、該2つの回折光をスケールに設けた第2の回折格子に入射させ、該第2の回折格子からの回折光をヘッド部内の第3の回折格子を介して受光手段で受光することにより該スケールのヘッド部に対する変位情報を求める際、発光素子及び投光手段等を適切に設定した。
請求項（抜粋）：
発光素子から射出された光束の集束、発散状態を変換する光学素子と光束を分割する第1の回折格子とから成る投光手段、該投光手段からの光を変調する第2の回折格子が設けられた変調手段、そして該変調手段からの変調光同士を合成し、干渉光束を得る第3の回折格子と該干渉光束を受光する受光素子とから成る受光手段とを有する光学式変位測定装置において、該発光素子は実質的な平行光もしくは大きな曲率半径を有する球面波を射出するレーザ光源であることを特徴とする光学式変位測定装置。
IPC (3件)：
G01D 5/38
, G01B 11/00
, G01D 5/36
