特許
J-GLOBAL ID:200903064634644427

構造部品を断熱層で被覆する方法と被覆装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山口 巖
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-500083
公開番号(公開出願番号):特表2000-514497
出願日: 1997年05月22日
公開日(公表日): 2000年10月31日
要約:
【要約】本発明は、構造部品(1)を被覆室(2)の中に置いて構造部品温度に保つような構造部品(1)を断熱層(3)で被覆する方法に関する。被覆室(2)の中が真空にされ、少なくとも断熱層(3)を形成する材料を構造部品(1)上に蒸着する被覆プロセス中に、プロセス量の真空圧および構造部品温度が一緒に制御される。この制御は、プロセス量がそれぞれ設定値範囲内にあり断熱層(3)が構造部品(1)上に柱状組織で成長するように行われる。
請求項(抜粋):
構造部品(1)が被覆室(2)の中に置かれて構造部品温度に保たれ、被覆室(2)の中が真空にされ、少なくとも断熱層(3)を形成する材料を構造部品(1)上に蒸着する被覆プロセス中に複数のプロセス量、特に真空圧、構造部品温度および雰囲気組成が、これらがそれぞれ設定値範囲内にあり断熱層(3)が構造部品(1)上に柱状組織で成長するように一緒に制御される構造部品(1)を断熱層(3)で被覆する方法。
IPC (2件):
C23C 14/54 ,  F01D 5/28
FI (2件):
C23C 14/54 C ,  F01D 5/28
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭54-153791
引用文献:
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