平行平板容量結合型微小プラズマ発生装置

発明者： ,
出願人/特許権者： , ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-257004
公開番号（公開出願番号）：特開2003-036996
出願日： 2001年07月23日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：

【要約】【課題】微小領域での化学分析、化学反応および毛細管(キャピラリ)内壁への薄膜形成や表面処理を可能にする、小型、低価格、低消費電力、高効率、高信頼性、長寿命のプラズマ発生装置を提供する。【解決手段】平行平板容量結合型微小プラズマ発生装置は、非導電性物質から成る物体に作製された一つあるいは複数の毛細管(キャピラリ)の各々を挟むように、一対あるいは複数対の平行平板電極を対向して設置し、各電極対の一方に整合回路を介して交流あるいは高周波電源を接続し、他方を接地することで構成される。

請求項（抜粋）：

一つあるいは複数の毛細管(キャピラリ)を有する非導電性物質から成る物体において、上記一つあるいは任意の複数個の毛細管を挟んで、上記物体の外部に一対あるいは複数対の平行平板電極を配置し、上記対電極の一方に交流電力あるいは高周波電力を印加し、他方は接地された状態で、上記毛細管に所定のガスを導入し、任意の雰囲気下でプラズマを発生することを特徴とする平行平板容量結合型微小プラズマ発生装置。

IPC (3件)：

H05H 1/46 , C23C 16/50 , G01N 35/08

FI (3件)：

H05H 1/46 M , C23C 16/50 , G01N 35/08 A

Fターム (10件)：

2G058AA01 , 2G058BA08 , 2G058DA00 , 2G058DA07 , 2G058GA06 , 4K030AA09 , 4K030BA27 , 4K030CA15 , 4K030FA01 , 4K030KA30

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