特許
J-GLOBAL ID：200903064662072013
スタンパーの厚み測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-067430
公開番号（公開出願番号）：特開平6-259816
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 スタンパーの厚さを正確に精度良く測定する方法を提供する。【構成】 スタンパーの製造方法におけるガラス板上に成膜されたスタンパーの厚みを測定する際、レーザー光を照射する部分と被測定物からの反射光を受光する部分とを配置してあり、その反射光の受光位置から被測定物の変位を測定するレーザー変位計をスタンパーの両側に配置してスタンパーの厚みを測定する方法において、被測定物であるスタンパーの傾きの影響を無くした状態でスタンパーの厚さを測定するスタンパーの厚み測定方法。
請求項（抜粋）：
スタンパーの製造方法におけるガラス板上に成膜されたスタンパーの厚みを測定する際、レーザー光を照射する部分と被測定物からの反射光を受光する部分とを配置してあり、その反射光の受光位置から被測定物の変位を測定するレーザー変位計をスタンパーの両側に配置してスタンパーの厚みを測定する方法において、被測定物であるスタンパーの傾きの影響を無くした状態でスタンパーの厚さを測定することを特徴とするスタンパーの厚み測定方法。
IPC (3件)：
G11B 7/26 511
, G01B 11/06
, G01M 11/00
