特許
J-GLOBAL ID：200903064662200399
電子部品の外観検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 精孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-199373
公開番号（公開出願番号）：特開平6-042935
出願日： 1992年07月27日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【目的】 高精度で不良部分を特定できる電子部品の外観検査装置を提供すること。【構成】 照明器2によって照明しながらカメラ1によって電子部品Cを撮像して得られた画像データに基づいて、判定処理部3dにより電子部品C上の検査対象範囲を特定し、検査対象範囲内のX軸に対して平行な方向に連なる複数の画素の平均輝度をY座標毎に算出し、各画素の輝度とこの画素に対応する前記平均輝度との輝度差を算出する。さらに、Y座標毎の前記輝度差の累積値を算出すると共に、検査対象範囲内の累積値の平均値を平均累積値として算出し、各累積値と平均累積値を比較して電子部品Cの外観形状の良否を判定する。【効果】 不良部分をY座標によって高精度で特定することができ、外観検査の信頼性並びに生産効率の向上を図ることができる。
請求項（抜粋）：
電子部品を撮像し、複数の画素からなる画像データを出力する撮像器と、前記電子部品の形状データを記憶する記憶手段と、前記撮像器によって撮像された画像データに基づいて、前記電子部品の外観形状の良否を判定する判定手段とを備えた電子部品の外観検査装置において、前記画像データに基づいて、前記電子部品上の検査対象範囲を特定すると共に、該検査対象範囲内の画像データにおける各画素に直交座標を割り当てる検査範囲特定手段と、前記検査対象範囲内において、前記直交座標における一方の座標軸に対して平行な方向に連なる複数の画素の平均輝度を他方の座標毎に算出する平均輝度算出手段と、前記各画素の輝度と該画素に対応する前記平均輝度との輝度差を算出する輝度差算出手段と、前記他方の座標毎の前記輝度差の累積値を算出する累積値算出手段と、前記検査対象範囲内の前記累積値の平均値を平均累積値として算出する平均累積値算出手段とを設けると共に、前記判定手段は、前記各累積値と前記平均累積値とを比較し、前記電子部品の外観形状の良否を判定する、ことを特徴とする電子部品の外観検査装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06F 15/62 405
, H01L 21/66
