特許
J-GLOBAL ID：200903064669404224
半導体素子の検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-319842
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160784
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 プローブホルダーの自重に影響されることなく、該プローブホルダーのプローブ電極の先端部に検査試料の半導体素子表面を実質的に一定の接触圧をもって迅速に接触させるようにして、効率的にかつ正確に半導体素子の電気的諸特性を測定することができる検査装置を提供すること。【解決手段】 試料載置台の昇降機構部を設けるとともに該試料載置台の近くに枢軸部材を介して中央部を支持した天秤棒の一端部にプローブホルダー及びばね部材を装着し、その他端部に重錘部材及び該重錘部材による押し下げ力と上記ばね部材の牽引力とに基づく合成押し上げ力を検出する荷重検出器を装着して天秤式接触圧調節機構部を形成し、検査時、上記試料載置台を所定の微小距離を上昇させて検査試料の半導体素子を上記プローブ電極の先端部に接触させる。
請求項（抜粋）：
検査しようとする半導体素子を載置面に固定するとともにその固定位置を調節可能とした試料載置台、プローブ電極を保持したプローブホルダー及び上記プローブ電極に検査電圧信号を供給する信号発生器を有し、上記試料載置台に固定した半導体素子に上記プローブ電極の先端部を接触させるとともに該プローブ電極に上記信号発生器から所定の電圧信号を印加しながら該半導体素子の電気的諸特性を検査する、半導体素子の検査装置において、上記試料載置台を昇降する載置台昇降機構部を設けるとともに該試料載置台の近くに天秤棒の中央部を枢軸部材を介して支持した支柱を設け、上記天秤棒の一端部に上記プローブホルダーを装着するとともに該一端部を下方に牽引するばね部材を装着する一方、上記天秤棒の他端部に、押し下げ力を調節可能とした重錘部材を装着するとともに該重錘部材による押し下げ力と上記ばね部材の牽引力とに基づく合成押し上げ力を検出する荷重検出器を取り付け、検査時、上記載置台昇降機構部により上記試料載置台を所定の微小距離を上昇させることにより該試料載置台に固定した検査試料の半導体素子を上記プローブ電極の先端部に接触させるように構成したことを特徴とする、半導体素子の検査装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01R 31/26 F
, H01L 21/66 B
, H01L 21/66 X
