特許
J-GLOBAL ID：200903064672766765
多層光導波路及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-199366
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043328
出願日： 1992年07月27日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【目的】 簡単な工程で製造でき、しかも層間伝搬光のパワーを制御可能で小形・高密度化を図ることができる多層光導波路を提供する。【構成】 三次元導波路の下層コア13aの一部と、他の層の三次元光導波路の層間コア13cの一部とをクラッド層である層間伝搬層14を挟んで互いに近接して配置して光結合部15を構成する。
請求項（抜粋）：
薄膜で形成されるコア層及びクラッド層からなる三次元薄膜導波路を多層に積層した多層光導波路であって、三次元光導波路のコアの一部と他の層の1本以上の三次元光導波路のコアの一部とがクラッド層を挟んで互いに近接して配置された光結合部を1個以上有することを特徴とする多層光導波路。
引用特許：
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