モータ及びターボ分子ポンプ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-022012
公開番号（公開出願番号）：特開2000-220640
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】セラミック気体軸受を使用するモータにおいて、高回転数化等の理由によりセラミック気体軸受のクリアランスを狭く設定した場合でも、高速回転時の熱に対してセラミック気体軸受のクリアランスを確保し、大気圧から高真空を得る。【解決手段】モータ10の回転体25はその外周部分が内筒28によって形成され、内筒の外周面上には動圧溝が形成されている。回転体の外周側には外筒29が配置されている。回転軸13のラジアル方向の負荷を支持する空気軸受(セラミック動圧気体軸受)30は、内筒と外筒とから構成される。ターボ分子ポンプに使用されるモータでは、排気速度や使用回転数等からクリアランスが例えば3〜6μmに定められる。内筒のセラミック材質は炭化珪素で、外筒のセラミック材質はアルミナからなり、内筒のセラミック材質の方が外筒のセラミック材質より熱膨張率が小さくなっている。

請求項（抜粋）：

回転軸を回転させるための回転体と、前記回転体の外周側に配置された電機子と、前記回転体のラジアル方向の負荷を支持するセラミック気体軸受と、前記回転体のスラスト方向の負荷を支持する非接触式軸受とを備え、前記セラミック気体軸受は、前記回転体の外周面を形成する軸受回転体と、前記軸受回転体の外周側にクリアランスを設けて配置された軸受固定体とから構成され、前記軸受回転体のセラミック材質が、前記軸受固定体のセラミック材質より熱膨張率が小さいことを特徴とするモータ。

IPC (8件)：

F16C 33/24 , F04D 19/04 , F04D 29/04 , F16C 17/02 , F16C 32/00 , F16C 37/00 , H02K 7/08 , H02K 7/14

FI (9件)：

F16C 33/24 A , F04D 19/04 A , F04D 19/04 G , F04D 29/04 M , F16C 17/02 A , F16C 32/00 C , F16C 37/00 A , H02K 7/08 A , H02K 7/14 B

Fターム (56件)：

3H022AA01 , 3H022AA03 , 3H022BA06 , 3H022CA11 , 3H022CA15 , 3H022CA53 , 3H022DA02 , 3H022DA08 , 3H022DA13 , 3H022DA19 , 3H031DA01 , 3H031DA02 , 3H031DA07 , 3H031EA00 , 3H031EA01 , 3H031EA02 , 3H031EA06 , 3H031EA08 , 3H031FA14 , 3H031FA15 , 3H031FA16 , 3H031FA34 , 3H031FA35 , 3H031FA36 , 3H031FA40 , 3J011AA08 , 3J011AA09 , 3J011BA02 , 3J011CA02 , 3J011DA01 , 3J011KA02 , 3J011LA05 , 3J011SD01 , 3J011SD04 , 3J017EA03 , 3J017GA01 , 3J102AA08 , 3J102BA03 , 3J102BA19 , 3J102CA03 , 3J102CA18 , 3J102FA06 , 3J102GA06 , 3J102GA13 , 5H607AA02 , 5H607BB01 , 5H607BB09 , 5H607BB14 , 5H607CC01 , 5H607DD03 , 5H607FF06 , 5H607FF08 , 5H607GG12 , 5H607JJ05 , 5H607KK00 , 5H607KK10

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