特許

J-GLOBAL ID：200903064675996915

蛍光X線分光装置

発明者： 村松 康司 ,  尾嶋 正治
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-163056
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003294
出願日： 1992年06月22日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は固体材料中の軽元素不純物からの蛍光X線を、簡単かつ小さな機械構造で分光してこれら軽元素の化学結合状態の解析を可能とするとともに、数10μm ×数10μm 程度の空間分解能でこれら軽元素の分布の解析を可能とすることである。【構成】本発明は、蛍光X線8の発生点を光源点として光軸11上に入射ピンホール1とゾーンプレート2を配し、このゾーンプレート2によって分光かつ集光された蛍光X線を光軸11上に配した出射ピンホール3を通してX線検出器4で検出することを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

蛍光X線の発生点を光源点として光軸上に入射ピンホールとゾーンプレートを配し、このゾーンプレートによって分光かつ集光された蛍光X線を光軸上に配した出射ピンホールを通してX線検出器で検出することを特徴とする蛍光X線分光装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭57-138613
  
• 特開昭59-052235
  
• 特開昭48-102682