特許
J-GLOBAL ID：200903064676788542
超音波非接触塗布膜レベリング方法とその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-139777
公開番号（公開出願番号）：特開平8-332783
出願日： 1995年06月07日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】 塗布膜の基材を損なうことがなく、被塗布物上に形成された塗布膜を直接に超音波振動させる超音波非接触塗布膜レベリング装置の提供。【構成】 超音波を発振する超音波振動子1aと、前記超音波振動子1が発生する超音波の縦振動を増幅する増幅ホーン8と、前記の増幅された縦振動によって特定モードで振動し超音波振動をその振動方向に空気中に放射する振動板9と、前記振動板9から放射された超音波振動を反射して、塗布対象物12に形成された塗布膜13上に集束させる反射板10、10とを有する。
請求項（抜粋）：
塗布対象物上に塗布膜を形成し、超音波発振手段からの超音波振動を振動片に加え、前記振動片に特定モードの超音波振動を起こさせ、前記振動片からその振動方向に空気中に放射される超音波振動を反射板で反射させ前記塗布膜上に集束させて前記塗布膜の表面を超音波振動によって平滑化させることを特徴とする超音波非接触塗布膜レベリング方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41M 7/00
, H01L 21/30 564 Z
