特許
J-GLOBAL ID：200903064678088483
誘電体バリヤ放電ランプを使用した灰化装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-032530
公開番号（公開出願番号）：特開平6-231735
出願日： 1993年01月29日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】 大面積の被処理物を均一に、かつ高速で灰化出来る灰化装置を提供することである。【構成】 紫外線照射下において被処理物にオゾンを接触させて該被処理物を灰化する装置において、該紫外線の放射源として誘電体バリヤ放電ランプを使用することによって達成される。また、該誘電体バリヤ放電ランプが、nm単位で表した波長範囲180から200、165から190、および120から190の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有するように該誘電体バリヤ放電ランプの発光ガスを選ぶことにより、あるいは、該誘電体バリヤ放電ランプが、nm単位で表した波長範囲240から255、200から240、および300から320の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有するように該誘電体バリヤ放電ランプの発光ガスを選ぶことにより、上記目的はより一層達成できる。
請求項（抜粋）：
紫外線照射下において被処理物にオゾンを接触させて該被処理物を灰化する装置において、該紫外線の放射源として誘電体バリヤ放電ランプを使用した事を特徴とする誘電体バリヤ放電ランプを使用した灰化装置。
IPC (4件)：
H01J 65/04
, H01J 61/20
, H01L 21/027
, H01L 21/304 341
