減圧処理装置の排気方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-200014
公開番号（公開出願番号）：特開平7-034251
出願日： 1993年07月19日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：

【要約】【目的】高速度に且安定にガスパージ可能な減圧処理室の排気方法及びその装置を提供する。【構成】減圧処理室にプロセスガスライン21、排気ライン24を接続し、前記プロセスガスラインにガス導入弁2を設け、前記排気ラインに主排気弁1を設け、前記ガス導入弁の上流側に減圧処理室をバイパスするバイパス排気ライン25を接続し、該バイパス排気ラインに副排気弁12を設け、各ラインの弁の開閉を選択することで、処理中を除きバイパス排気ラインを介してプロセスガスを排気し、又処理開始前に該バイパス排気ラインによりプロセスガスラインの滞留ガスを排気し、又処理休止時にプロセスガスラインの滞留ガスを排気し、装置の排気開始時に、バイパス排気ラインと排気ラインにより同時に排気する。

請求項（抜粋）：

減圧処理室にプロセスガスライン及び排気ラインを接続すると共に減圧処理室をバイパスするバイパス排気ラインを設け、処理中を除きバイパス排気ラインを介してプロセスガスを排気することを特徴とする減圧処理装置の排気方法。

IPC (3件)：

C23C 16/44 , B01J 3/02 , C23F 4/00

引用特許：

審査官引用 (20件)

特開昭58-027637
特開昭58-027637
特開平2-170975

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