特許
J-GLOBAL ID：200903064685916430
真空バルブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
猪股 祥晃
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-044350
公開番号（公開出願番号）：特開平9-245589
出願日： 1996年03月01日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】外形の更なる小形化を図ることのできる真空バルブを得ること。【解決手段】固定側電極4A及び可動側電極4Bとこれらの各コイル電極10の外周に対して、タングステンの被膜11A,11Bをイオンビーム照射によって形成する。一方、絶縁円筒1の内面に対しては、イオンビーム照射によって表面に改質層13を形成して、内部に残存していた不純物を除去する。被膜11A,11Bは、ステンレス鋼でもよい。
請求項（抜粋）：
絶縁円筒の両端を封止した端板に通電軸が貫設され、この通電軸の対向端に電極が設けられ、この電極と前記絶縁円筒の間にアークシールドが設けられた真空バルブにおいて、絶縁破壊電圧の高い金属材の被膜を前記電極の外周に形成したことを特徴とする真空バルブ。
FI (2件)：
H01H 33/66 J
, H01H 33/66 H
