特許
J-GLOBAL ID：200903064695283354
走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-005615
公開番号（公開出願番号）：特開平6-215716
出願日： 1993年01月18日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】試料の周囲のみを低真空として、微細形態を観察する走査電子顕微鏡において、低真空部(試料室)の圧力を1000Pa程度まで拡大させ、試料からの水等の蒸発を最小限に抑えること。【構成】鏡筒を二分して、電子銃室と試料室間にオリフィスで仕切られた中間室を設け高真空部とは異なる排管により油回転ポンプで排気するように構成する。【効果】低真空部(試料室)の圧力を1000Pa程度まで拡大させることが出来、水等を含む試料の蒸発を最小限に抑えて正しい観察を可能とした。
請求項（抜粋）：
試料室を低真空にする走査電子顕微鏡において、対物レンズ上部に、電子銃室とオリフィスで仕切られた中間室を設け、この中間室の排気を油回転ポンプで行なうように構成した排気系を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
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