表面形状の光学的測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小山欽造 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-332776
公開番号（公開出願番号）：特開平5-141934
出願日： 1991年11月22日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：

【要約】【目的】被測定物表面の表面形状を、定量的に自動測定可能とする。【構成】微分干渉計2を備えた微分干渉顕微鏡装置に、光強度検出器3と、変位量検出器4と、マイクロコンピュータ5とを付設する。光強度検出器3は、干渉像の光強度を検出する。変位量検出器4は、ウォラストンプリズム10の変位量を検出する。マイクロコンピュータ5は、光強度検出器3が、光強度が0である、0次の干渉縞を検出した時点に於ける、変位量検出器4の検出値に基づいて被測定物6の表面形状を算出する。

請求項（抜粋）：

波長帯域を有する光源と、この光源から出射し、偏光した光束を、光軸に対して垂直な方向に変位自在な複屈折媒体によって2分割し、それぞれ被測定物表面で反射させた後、合成して干渉させる微分干渉計と、上記被測定物表面に対して光学的に共役な位置に設けられ、この干渉計によって造られた干渉像の光強度を検出する光強度検出器と、上記複屈折媒体の変位量を検出する変位量検出器と、上記光強度検出器が検出する光強度が所定値になった場合に於ける上記変位量検出器の検出値を基に、上記被測定物の表面形状を算出する演算器とから成る、表面形状の光学的測定装置。

前のページに戻る