特許

J-GLOBAL ID：200903064702355625

X線回折測定方法及びその装置

発明者： 福村 一弘 ,  伊庭 義博
出願人/特許権者： 理学電機株式会社
代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-093333
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257725
出願日： 1996年03月21日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 X線のピーク波形を正確に捕えることができ、しかもX線強度分布にずれを生じることの無いX線回折測定方法を提供する。【解決手段】 連続法X線回折測定方法を用いて回折X線図形Aを求める測定方法において、測定間隔をδとし、測定点の角度位置を2θn とするとき、測定点2θn に対応する累積X線強度の測定開始点を(2θn -δ/2)とし、その開始点から測定間隔δの間の累積X線強度を求め、その求められた累積X線強度を測定点2θn におけるX線強度として決定する。測定点2θn を開始点として累積X線強度を演算するのではないので、得られたX線強度分布にズレが生じない。また、連続法X線回折測定を用いるので、ピーク波形の見落としもない。

請求項（抜粋）：

X線検出手段を試料に対して連続的に移動させながら試料からの回折X線を検出し、検出した回折X線に関して所定角度間隔の測定点の間で累積X線強度を求めるようにしたX線回折測定方法において、上記測定点間の所定角度間隔をδとし、測定点の角度位置を2θとするとき、角度位置2θの測定点に対する累積X線強度の測定開始点を(2θ-δ/2)とし、その開始点から所定角度間隔δの間の累積X線強度を求めて、それを角度位置2θのX線強度とすることを特徴とするX線回折測定方法。