特許
J-GLOBAL ID：200903064705219218
循環濾過槽および循環濾過方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-311836
公開番号（公開出願番号）：特開平8-168614
出願日： 1994年12月15日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：
【要約】【目的】 処理液を循環させて被浸漬処理体を浸漬処理する循環濾過槽および循環濾過方法において、安全性が高く、処理液を短時間でかつ確実に清浄にすることができるようにする。【構成】 ダンプ弁4を閉じて基板12を処理槽2内に挿入し、ポンプ7を駆動する。これにより、処理液受け部3a内の処理液5が供給路6を通して搬送され、途中のフィルタ8で濾過されて、給液部9から処理槽2内に供給される。ポンプ7の駆動を継続すると、処理槽2内には処理液5が満たされ、基板12が洗浄される。そして、処理槽2内に満たされた処理液5は、上側の開口部、特に切り込み2aから下方に溢れ出て、処理液受け部3aに流れて溜まる。こうして処理液5は、処理液受け部3aと処理槽2との間を循環しながら、フィルタ8での濾過と基板12の洗浄が繰り返される。基板12の洗浄が終了してダンプ弁4を開くと、処理槽2内の処理液5がすべて処理液受け部3aに流れる。
請求項（抜粋）：
処理液を循環させて被浸漬処理体を浸漬処理する循環濾過槽において、前記浸漬処理体を前記処理液によって浸漬する処理槽と、前記処理槽内の処理液を下方に排出する排出弁と、全体が前記処理槽を内包するように形成される外槽と、前記外槽の一部として設けられ、前記処理槽の上部から溢れた処理液および前記排出弁から排出された処理液を受けるとともに前記処理液のすべてを受けた場合の液面が前記排出弁よりも低くなるように形成される処理液受け部と、前記外槽内に設けられ、前記処理液受け部と前記処理槽とを連絡する供給路と、前記供給路に設けられ、前記処理液受け部内の処理液を前記処理槽内に向かって送るポンプと、前記供給路内の処理液の異物を除去するフィルタと、前記供給路を介して送られる処理液を前記処理槽内で放出する給液部と、を有することを特徴とする循環濾過槽。
IPC (3件)：
B01D 37/00
, B08B 3/10
, H01L 21/304 341
