製造条件管理方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内原晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-234258
公開番号（公開出願番号）：特開平5-073575
出願日： 1991年09月13日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【目的】生産工程、製造条件をコンピューターにより管理する方法において、製造条件を一元管理することにより、条件変更時の手間やミスを低減させることを目的とする。【構成】本発明の方法は、製造条件を、従来の多元配置から、コンピュータシステムにより一元化したことを特徴とする。【効果】製造条件の一元化により、条件変更における手間の削減、条件変更のスピード向上が期待出来る。

請求項（抜粋）：

生産工程における工程の手順,進度を管理するホストコンピュータと、前記ホストコンピュータと製造装置との間に接続され、ロットの識別,製造条件の決定および処理開始の指示を行なうプロセスコントローラと、前記プロセスコントローラに接続され製造条件を保持している記憶装置とを有するシステムにおいて、前記製造条件を外部記憶装置に一元的に保持、管理するようにしたことを特徴とする製造条件管理方法。

IPC (4件)：

G06F 15/21 , B23Q 41/08 , G05B 19/05 , H01L 21/02

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-028806
特開昭54-109741
特開平3-026450

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