特許

J-GLOBAL ID：200903064710540270

顕微鏡の試料加熱装置

発明者： 北村 真一
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-049968
公開番号（公開出願番号）：特開平6-241715
出願日： 1993年02月16日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】 試料のクリーニングを良好に行なえ、且つ、加熱状態の試料を良好に観察できる顕微鏡の試料加熱装置を提供すること。【構成】 試料をクリーニングする場合、電極2,2' 間に電流を流し、試料1を通電加熱する。試料1は通電加熱により高温に加熱され、試料1のクリーニングが良好に行われる。この時、ヒータ部8aは試料に接触していない。試料1を加熱状態で観察する場合、電極9,9' に電流を流し、ヒータ線8cを加熱する。ヒータ線8cの発熱によりヒータ部8aが加熱される。また、傍熱加熱体8の発熱により、それに接触しているバイメタル7が加熱され、バイメタル7は図に示すように湾曲する。このバイメタル7の湾曲により、傍熱加熱体8が上方に持ち上げられ、ヒータ部8aが試料1に接触する。この接触により試料1は効率的に加熱され、加熱状態の試料を良好に観察することができる。

請求項（抜粋）：

試料を保持するための手段と、該試料への加熱電流の供給を制御するための手段と、前記試料の近傍に配置された被加熱部材と、該被加熱部材への加熱を制御するための手段と、前記被加熱部材と前記試料との接触を制御するための手段とを備えた顕微鏡の試料加熱装置。

IPC (4件)：

G01B 7/34 ,  G02B 21/30 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28