特許
J-GLOBAL ID：200903064710766685
分光学的に相関関係のある光走査顕微鏡検査法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川原田 一穂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-116727
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142144
出願日： 1992年04月10日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：
【要約】【構成】 共焦点走査光顕微鏡で、1度または2度、結像される試料表面(5)の個々の要素を走査すること;結像ビーム経路から分光器(16)内へ光の一部を投射すること;および2次元領域(17)内に分光データを蓄積することによる、像データと分光データとを相互に関連させること;により、試料の波長に従って解像される光顕微鏡像と分光データを作成し、かつ相互に関連させる方法。【効果】 共焦点走査光顕微鏡と各種分光技法の潜在能力が十分に活用できる。
請求項（抜粋）：
試料の波長に従って解像される、光顕微鏡像と分光データとを作成し、かつ相互に関連させる方法であってa)共焦点走査光顕微鏡で、1度または2度、結像される試料表面の個々の要素を走査すること;b)結像ビーム経路から分光器内へ、光の一部を投射すること;c)2次元領域内に、上記分光データを蓄積することにより、像データと分光データとを相互に関連させること、ここで1次元は、個々の要素の測定スペクトルを蓄積するために用いられ、そして第2の次元は、上記走査された要素で拡散反射された光の強度により、または像処理により試料像の全データから得られる規準によって活性化される、のステップから成るもの。
IPC (3件)：
G01N 21/27
, G01N 21/63
, G02B 21/00
