特許
J-GLOBAL ID：200903064715160890
光学式高さ検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-123747
公開番号（公開出願番号）：特開平10-318718
出願日： 1997年05月14日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：
【要約】【課題】試料の表面の反射率の分布に影響されずに広測定範囲で、高精度に試料高さを検出すること。【解決手段】スリット203の像を試料106上に投影し、試料106上で反射されたスリット像の位置を2分割フォトダイオード214で検出する。このとき、レンズ210と反転鏡211によって投影スリット光を再び試料106上に反転結像してからその像の位置を214で検出するようにする。投影スリット像と反転折り返し像が常に試料106上で重なり合うように回転鏡206の角度を制御した状態では、検出器214上のスリット像は検出器214の原点と一致する。投影スリット像と反転折り返し像が試料106上で重なり合った状態では、反射率のむらによる検出誤差は相殺され、純粋な試料高さを精度よく検出可能である。この高さ検出器を収束荷電粒子ビーム装置あるいは光学装置に組み込むことによって、高速・高精度の焦点合わせ、倍率変動補正を実現することが可能となる。
請求項（抜粋）：
対象物にスリット光あるいはスポット光を投影して、その反射位置の変化から対象物の高さを検出する装置であって、対象物にスリット光あるいはスポット光を投影する光学系と、反射光を反転し対象物上に再び結像する光学系と、上記再結像した像の位置を検出する光学系と、対象物の高さの変化に応じて上記投影光と再結像光の位置が対象物上で一致するように投影光および再結像光の照射方向の少なくとも一方を制御する制御手段とを備え、対象物の表面の反射状態に左右されずに広い作動範囲で高さを検出することを特徴とする光学式高さ検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/02 H
, G02B 7/11 N
