静電駆動型リレー

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：石田長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-010607
公開番号（公開出願番号）：特開平6-223698
出願日： 1993年01月26日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】接点圧力が十分得られ、接触信頼性が良く、接点間耐圧も高く、電極への印加電圧も低くてすむ静電駆動型リレーを提供するにある。【構成】上、下部の固定片1、3は固定電極10、11を形成せるシリコンウェハからなる。固定片1、3の間に挟持される可動片2も可動電極6を形成せるシリコン単結晶ウェハからなり、可動接点6が移動可能に支持されている。そして可動電極4の支持端部9側と固定電極10、11との間空隙が自由端側のそれに比べて小さくなるように固定電極10、11には段差27、28を形成している。可動接点4と固定接点12又は19との間の接点圧は、各固定電極10、11上に形成しているエレクトレット17、18による可動電極4に及ぼす静電力と、外部印加による静電力を重ね合わせた力と、段差27、28とにより大きなものとなる。

請求項（抜粋）：

固定電極を形成せる固定片と、固定電極に空隙を介して対向する可動電極を有し固定電極と可動電極との間に印加される外部電圧によって発生する静電力で固定電極側に一端部が移動するように他端部が支持固定された可動部を有する可動片とを接合し、可動部の移動により互いに接離する接点を可動部の一端部とこの一端部に対応する固定片の端部とに設けるとともに、これら接点を外部電気回路に接続する静電駆動型リレーにおいて、可動部の一端部側とこれに対向する固定片の端部側との間の空隙が他の可動部と固定片との間の空隙より小さくなるように可動部と固定片との対向面の何れか一方に段差を設けたことを特徴とする静電駆動型リレー。

引用特許：

審査官引用 (2件)

静電リレー
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-151920 出願人：松下電工株式会社
特開昭56-074448

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