電鋳用型の構造と製造方法およびその電鋳用型を用いた電鋳方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松下義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-070803
公開番号（公開出願番号）：特開2005-256110
出願日： 2004年03月12日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：

【課題】形状精度や寸法精度が高い部品を作製できる電鋳用型とその電鋳用型を用いた電鋳方法を提供すること。【解決手段】ドライエッチングによって形成された略垂直な側壁を有するシリコンからなる型構造体と、型構造体の側壁および上面を被覆する絶縁体と、型構造体を支持する支持基板と、型構造体と支持基板を物理的に接続する絶縁接続層とからなり、絶縁接続層の型構造体が形成されていない部分の少なくとも一部が除去されてできた凹部を有していることを特徴とする電鋳用型とした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

シリコンからなる基板に形成され、前記基板表面に対して略垂直な側壁を有するシリコンからなる複数の型構造体と、前記型構造体の側壁および上面を被覆する絶縁体と、絶縁接続層を介して前記型構造体を支持する支持基板とからなり、前記絶縁接続層は前記型構造体の下面と前記支持基板の上面を接続し、前期絶縁接続層の前記型構造体が接していない部分の少なくとも一部が除去されてできた凹部を有していることを特徴とする電鋳用型。

IPC (1件)：

C25D1/10

FI (1件)：

C25D1/10

引用特許：

出願人引用 (3件)

スタンパー製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-192429 出願人：株式会社東北中谷
金型製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-180133 出願人：株式会社東北中谷
電鋳部品の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-313397 出願人：シチズン時計株式会社

審査官引用 (5件)

微小構造物製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-003349 出願人：株式会社リコー
マイクロ構造体の作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-106295 出願人：キヤノン株式会社
金属部品の製造方法及び金属部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-151526 出願人：神奈川県, 財団法人生産技術研究奨励会

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