特許

J-GLOBAL ID：200903064726833480

フリップチップの実装装置およびフリップチップの実装方法

発明者： 佐藤 聖一
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-317800
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134566
出願日： 1996年11月28日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】【課題】 フリップチップを高速度でしかも高い位置精度で基板に実装できるフリップチップの実装装置および実装方法を提供することを目的とする。【解決手段】 トレイ3内のフリップチップ1の位置を第1の認識ユニット7で認識して第1のピックアップヘッド12でピックアップする。第1のピックアップヘッド12はフリップチップ1を上下反転させながら第1の受渡し位置S1へ搬送し、第2のピックアップヘッド40へ受渡す。第2のピックアップヘッド40はフリップチップ1を第2のターンテーブル30のアーム32上に受け渡す。第2のターンテーブル30はフリップチップ1を第2の受渡し位置S2へ搬送し、第3のピックアップヘッド69に受渡す。第2の認識ユニット52でフリップチップ1と基板61の位置を認識したうえで、フリップチップ1を基板61上に搭載し、加熱しながら押圧してボンディングする。

請求項（抜粋）：

フリップチップが実装される基板を保持する可動テーブルと、前記可動テーブルの上方にあって吸着子の吸着孔の吸引力によりフリップチップを保持するピックアップヘッドと、回転軸を中心に水平回転してフリップチップを受け取る第1の受渡し位置から前記ピックアップヘッドの直下であってフリップチップをピックアップヘッドに受け渡す第2の受渡し位置に移動するフリップチップ搬送用のアームを有するターンテーブルと、前記ターンテーブルの下方に前記ピックアップヘッドに保持されたフリップチップ及び前記可動テーブル上の基板を観察するための鏡筒を有する認識ユニットと、前記認識ユニットを水平移動させて前記鏡筒を前記ピックアップヘッドに保持されたフリップチップの直下へ移動させる駆動部を備えたことを特徴とするフリップチップの実装装置。

IPC (2件)：

H01L 21/60 311 ,  H05K 13/04

FI (2件)：

H01L 21/60 311 T ,  H05K 13/04 B

Fターム (13件)：

5E313AA02 ,  5E313AA23 ,  5E313CC03 ,  5E313CD06 ,  5E313EE01 ,  5E313EE03 ,  5E313EE24 ,  5E313FF29 ,  5E313FF31 ,  5F044PP16 ,  5F044PP17 ,  5F044PP18 ,  5F044PP19