特許

J-GLOBAL ID：200903064727157720

光偏向器

発明者： 菅野 泰弘
出願人/特許権者： 日本ビクター株式会社
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-237769
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066542
出願日： 1999年08月25日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】 全体としてのサイズが光反射ミラーのサイズに対してあまり大きくならない小型の光偏向器を提供する。【解決手段】 ベースに対して第1支持梁16を介して揺動自在に支持された第1振動部15と、この第1振動部15の上方の対向位置に間隔を置いて平行に配置され、且つ、第1振動部15に第2支持梁18を介して揺動自在に支持された第2振動部17と、第2振動部17の上面に設けられた第2光反射ミラー20と、第1振動部15に静電力を付与して揺動力を作用させるための第1電極21と、第2振動部17に静電力を付与して揺動力を作用させるための第2電極22とを備える。

請求項（抜粋）：

ベースに対して第1支持梁を介して揺動自在に支持された第1振動部と、この第1振動部の上方の対向位置に間隔を置いて配置され、且つ、前記第1振動部に第2支持梁を介して揺動自在に支持された第2振動部と、前記第2振動部の上面に設けられた光反射ミラーとを備え、この光反射ミラーで光ビームを反射させることを特徴とする光偏向器。

IPC (2件)：

G02B 26/10 104 ,  G02B 26/08

FI (2件)：

G02B 26/10 104 Z ,  G02B 26/08 E

Fターム (11件)：

2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB13 ,  2H045AB23 ,  2H045AB38 ,  2H045BA18 ,  2H045DA32