特許
J-GLOBAL ID：200903064734117963
X線回折装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-013880
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203591
出願日： 1992年01月29日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【目的】 X線発生装置やX線検出装置の移動半径を容易に調節でき、多様な測定環境で便利に利用することのできるX線回折装置を提供すること。【構成】 X線発生装置10をX軸方向に移動させる移動機構22と、X線発生装置10をY軸方向に移動させる移動機構23と、X線検出装置11をX軸方向に移動させる移動機構26と、X線検出装置11をY軸方向に移動させる移動機構27とを装備した構成として、装置10,11のそれぞれは、X軸方向の直線移動とY軸方向の直線移動の組合わせによって、試料1に対して円弧状に移動させる。
請求項（抜粋）：
試料に照射すべきX線を発射するX線発生装置と、このX線発生装置によるX線の照射によって試料から出る回折X線を検出するX線検出装置と、これらのX線発生装置とX線検出装置とを移動可能に支持する支持装置と、当該支持装置上での前記X線発生装置やX線検出装置の移動動作を制御する制御装置とを具備し、前記支持装置には、前記試料を横断する測定基準平面上のX軸方向に前記X線発生装置を移動させるための第1の移動機構と、前記測定基準平面上のY軸方向に前記X線発生装置を移動させるための第2の移動機構と、前記X線発生装置上に前記測定基準平面と直交する回転軸線を設定して該回転軸線回りにX線発生装置を回転させることによってX線発生装置のX線発生方向を設定する第1の回転機構と、前記測定基準平面上のX軸方向に前記X線検出装置を移動させるための第3の移動機構と、前記測定基準平面上のY軸方向に前記X線検出装置を移動させるための第4の移動機構と、前記X線検出装置上に前記測定基準平面と直交する回転軸線を設定して該回転軸線回りにX線検出装置を回転させることによってX線検出装置のX線検出方向を設定する第2の回転機構とを具備し、前記制御装置には、前記X線発生装置とX線検出装置との試料に対する移動軌跡が試料上の測定箇所を中心とする円弧状となるように第1乃至第4の移動機構による移動量を制御する円弧移動処理機能と、この円弧移動処理機能による移動処理時にX線発生装置の発生したX線が試料の測定箇所に入射して測定箇所からの回折X線がX線検出装置に入射するように前記第1および第2の回転機構による回転量を制御するθ移動処理機能とを具備したことを特徴とするX線回折装置。
引用特許：
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