極低温装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-118385
公開番号（公開出願番号）：特開平7-324830
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】極低温装置本体が極低温冷媒とともに収納された極低温装置の熱シールド、極低温容器を冷却する冷凍機と取付ジャケットとの間のガス対流による熱移動を防止した極低温装置の提供。【構成】極低温装置本体を収容し、極低温冷媒2が充填された極低温容器3、この極低温容器3を収容した真空容器4、極低温容器3と真空容器壁との間にあって、極低温容器3を包囲して熱遮蔽する熱シールド5a,5bとで構成される極低温装置の熱シールド5a,5b及び極低温容器3を冷却する冷凍機17が水平方向に取付けられる場合の取付ジャケット16と冷凍機シリンダ17a,17b,17cとの間に繊維質材料を紐状としたクッション材をフィルムで包囲したガス対流防止材を冷凍機シリンダと取付ジャケット16との間に充填した構成。

請求項（抜粋）：

被冷却物が収納された真空容器に設けられた取付ジャケット内に間隙をおいて水平方向に装着され、上記被冷却物を冷却する冷凍機を備え、上記冷凍機と取付ジャケットとの間の間隙に気体媒体が封入された極低温装置において、上記取付ジャケットと冷凍機との間に繊維質のクッション材を冷凍機の軸方向にシール材を介して分割配置したことを特徴とする極低温装置。

IPC (4件)：

F25B 9/00 , F25D 3/10 , H01F 6/04 ZAA , H01L 39/04 ZAA

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公平5-056005
特開平4-115506
極低温冷却装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-153139 出願人：三菱電機株式会社

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