特許
J-GLOBAL ID：200903064741624560
シリカガラス粉末及びシリカガラス溶融成形品の製造法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-012320
公開番号（公開出願番号）：特開平5-201718
出願日： 1992年01月27日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【構成】 アルコキシシランを加水分解反応及びゲル化反応させて得られる湿潤ゲルを粉砕して得られた平均粒径100〜1000μmの粒状湿潤ゲルを水性媒体中で懸濁洗浄することにより、粒径45μm以下の微粒子の実質的全量を除去し、次いで、該微粒子除去後の懸濁液から粒状湿潤ゲルを分離後、乾燥、焼成するシリカガラス粉末の製造法及び、該シリカガラス粉末を溶融成形してなるシリカガラス溶融成形品の製造法。【効果】 本発明方法で得られるシリカガラス粉末においては、粒子表面への微粒子の固着が抑えられるため、溶融成形後の発泡が抑えられ、透明性に優れたにごりのないシリカガラス成形体が得られることから半導体製造分野で使用される超高純度シリカガラス製品用途に有利に使用することができる。
請求項（抜粋）：
アルコキシシランを加水分解反応及びゲル化反応させて得られる湿潤ゲルを粉砕して得られた平均粒径100〜1000μmの粒状湿潤ゲルを水性媒体中で懸濁洗浄することにより粒径10μm以下の微粒子の実質的全量を除去し、次いで、該微粒子除去後の懸濁液から粒状湿潤ゲルを分離後、乾燥、焼成することを特徴とするシリカガラス粉末の製造法。
IPC (4件)：
C01B 33/158
, C03B 8/02
, C03B 19/12
, C03B 20/00
