特許
J-GLOBAL ID：200903064742859910
ペレットピックアップ方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-012943
公開番号（公開出願番号）：特開平9-186181
出願日： 1985年06月20日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：
【要約】【課題】 ウエハ上での一定の広さの領域内に存在する複数個のペレットが同一グループとして順次ピックアップされるようにしたペレットピックアップ方法および装置を提供することを課題とする。【解決手段】 縦横複数行複数列の格子状に並べられたペレット(P1,P2...)を順次ピックアップする方法において、上記ペレットを、所定数の列毎に分割された複数段に区分けし、各段(S1〜S3)において、1行毎にジグザグ状にペレットをピックアップするとともに、各段についての全体的なペレットピックアップの進行方向が隣接する段どうしでジグザグ状に変更されるようにしたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
縦横複数行複数列の格子状に並べられたペレットを順次ピックアップする方法において、上記ペレットを、所定数の列毎に分割された複数段に区分けし、各段において、1行毎にジグザグ状にペレットをピックアップするとともに、各段についての全体的なペレットピックアップの進行方向が隣接する段どうしでジグザグ状に変更されるようにしたことを特徴とする、ペレットピックアップ方法。
引用特許：
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