特許
J-GLOBAL ID：200903064744502490
光電子分光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-260469
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083112
出願日： 1999年09月14日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：
【要約】【課題】 短時間でX線入射角を全反射臨界角に設定することができる光電子分光装置を提供すること。【解決手段】 オペレータは、入力手段18により、励起X線の波長λ(nm)と被測定試料の密度ρ(kg/m3)を入力する。これらの入力信号λ,ρは中央制御手段17に送られ、中央制御手段17は、信号λ,ρを圧電素子制御手段14に送る。圧電素子制御手段14は、式θc=0.51λ√ρから全反射臨界角θcを求める。そして、圧電素子制御手段14は全反射臨界角θcを求めると、マルチキャピラリ15の中心軸Oと試料面との成す角度がθcとなるように、前記圧電素子体12をA方向に伸ばすと共に前記圧電素子体13を-A方向に縮める。
請求項（抜粋）：
X線源と、試料ステージと、該試料ステージに取り付けられた傾斜手段と、該傾斜手段に取り付けられた、複数のキャピラリがほぼ同じ向きに束ねられて構成されたマルチキャピラリとを備え、前記X線源からのX線をマルチキャピラリを介して試料に照射するようにしたことを特徴とする光電子分光装置。
Fターム (16件)：
2G001AA01
, 2G001BA08
, 2G001CA03
, 2G001EA02
, 2G001EA04
, 2G001EA09
, 2G001EA20
, 2G001GA13
, 2G001JA07
, 2G001KA01
, 2G001KA03
, 2G001KA12
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001SA02
, 2G001SA30
