特許
J-GLOBAL ID:200903064747176039

圧電材料の評価方法およびその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊東 忠彦 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-262397
公開番号(公開出願番号):特開平5-102282
出願日: 1991年10月09日
公開日(公表日): 1993年04月23日
要約:
【要約】【目的】本発明は圧電材料の評価方向およびその装置に関し、圧電材料単体を複数枚積層した圧電材料スタック内における圧電材料単体のみの特性変化を正確に評価することを目的とする。【構成】圧電材料単体を複数枚積層して形成された圧電材料スタック6の下部に圧電材料単体である圧電材料ペレット2を、スタック6の中心軸上においてセッター10,11間に挟装する。スタック6とペレット2は油圧シリンダ5により中心軸方向(Z1 -Z2 方向)に加圧されると共に、ペレット2はスタック6により上記中心軸方向の圧力変動が印加される。また、ペレット2にも上記圧力変動と同一周期で電圧が印加されてペレット2自体も同一周期で変位する。更に、セット治具1は同一温度に保持されている。このため、圧電材料ペレットを圧電材料スタック内の圧電材料単体と同一環境下に設定することが可能となる。
請求項(抜粋):
圧電材料単体を該圧電材料単体の厚さ方向に複数枚積層して形成した圧電材料スタックと、該圧電材料単体である圧電材料ペレットとを、該圧電材料単体の厚さ方向に沿う中心軸を合わせて重ねて配置すると共に、前記圧電材料スタックと前記圧電材料ペレットに印加される圧力および温度条件を同一とし、前記圧電材料スタックへの印加電圧を周期的に制御して前記圧電材料スタックを周期的に前記中心軸方向に伸縮せしめると共に、前記圧電材料スタックと同一周期で前記圧電材料ペレットの印加電圧を制御せしめて、前記圧電材料ペレットを周期的に前記中心軸方向に伸縮せしめ、所定回数の伸縮後に前記圧電材料ペレットを取り出して、その特性を評価することを特徴とする圧電材料の評価方法。
IPC (2件):
H01L 21/66 ,  H01L 41/09

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