製版装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田澤博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-117285
公開番号（公開出願番号）：特開平10-305551
出願日： 1997年05月07日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】【課題】 1本のレーザービームによってドット列を形成しなければならず、1枚の版を形成するのに長い時間を必要とするなどの課題があった。【解決手段】レジスト膜を有したシリンダー10と、レーザービーム2を射出する複数の光ファイバーレーザー装置1と、レーザー装置位置決め手段3と、平行なレーザービーム5に変換するコリメータ4と、レーザービーム5を透過または遮断する光スイッチ6と、レーザービーム5の径を拡大するビームエキスパンダー7と、レーザービーム8を集光し、集光スポット11を形成する集光レンズ9とを備えて構成することにより、装置を小型化しつつ、集光スポット11の作製を並列して行い、ドット列12を高速に作製できるようにした。

請求項（抜粋）：

回転自在に設けられレジスト膜を有したシリンダーと、光ファイバーによってレーザービームを射出する複数の光ファイバーレーザー装置と、前記複数の光ファイバーレーザー装置をそれぞれ位置決めして配置するレーザー装置位置決め手段と、前記光ファイバーレーザー装置から射出された前記レーザービームを透過または遮断する光スイッチと、前記光スイッチによって透過された前記レーザービームを前記シリンダーの前記レジスト膜に集光して複数の集光スポットを形成することにより当該レジスト膜を除去しドット列を形成するドット列形成手段とを備えた製版装置。

IPC (4件)：

B41C 1/05 , B23K 26/00 , B23K 26/06 , G03F 7/20 511

FI (4件)：

B41C 1/05 , B23K 26/00 A , B23K 26/06 A , G03F 7/20 511

引用特許：

審査官引用 (5件)

製版装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-167160 出願人：ソニー株式会社
特開平2-142695
特開昭58-025888

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