特許

J-GLOBAL ID：200903064757522474

ウエハ及びソーラセルの欠陥検出用光照射検査システム

発明者： ハワード エドウィン ポラード ,  ロバート エドワード ネフ ,  シェリル ジェニングス アジュルニ
出願人/特許権者： スペース システムズ/ローラル インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 藤村 元彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-067193
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308042
出願日： 1994年04月05日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】 簡単な構成にて、ソーラセル内の結晶層のクラックを検出する。【構成】 光源18を発してフィルタ22を通過した1.0μmの光が、白紙24にて散乱されてソーラパネル16に様々な角度で入射する。ビデオカメラ12をパネル16と対向させて散乱光が入射しているパネル16の像を形成する。パネル16のカバーガラスのクラックと結晶層のクラックとを識別するために、非平行光を発する光源20を、パネル16に対して所定角度で配置する。【効果】 散乱光により結晶層のクラックがソーラセルの各界面に影として生じるので、モニタにてクラックを観察することができる。

請求項（抜粋）：

製造される物体内の物理的欠陥を観察する光検査システムであって、平行光ビームの光源と、前記平行光ビームの所定波長を通過させるために前記平行光ビームをフィルタ処理する前記平行光ビームの光路内に配置されたフィルタ手段と、前記所定波長の前記平行光ビームを散乱させて前記平行光ビームが散乱された散乱光を前記物体へと案内して照射する前記平行光ビームの光路内に配置された散乱手段と、前記物体の像を形成するためにコヒーレント光及び前記散乱光が照射される前記物体と対向する観察手段と、を有し、前記物体内の物理的欠陥が前記像内に現れることを特徴とする光検査システム。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-221849
  
• 特開昭61-201106
  
• 特開平3-218045
  
• 特開平4-024541