特許

J-GLOBAL ID：200903064765833780

枚葉式熱処理装置

発明者： 八木 宏憲 ,  青木 一二 ,  北村 昌幸 ,  佐久間 健 ,  斉藤 孝規
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-362208
公開番号（公開出願番号）：特開2000-183070
出願日： 1998年12月21日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】 ヒーターの応答性および耐食性の向上を図る。【解決手段】 処理室2内に面状のヒーター4を設け、このヒーター4の上方に被処理体Wを支持して所定の処理ガス雰囲気下で熱処理する枚葉式熱処理装置1において、前記ヒーター4が面状に配設された発熱抵抗体6と、この発熱抵抗体6全体を被覆する石英製の被覆体7とにより薄い面状に形成されている。

請求項（抜粋）：

処理室内に面状のヒーターを設け、このヒーターの上方に被処理体を支持して所定の処理ガス雰囲気下で熱処理する枚葉式熱処理装置において、前記ヒーターが面状に配設された発熱抵抗体と、この発熱抵抗体全体を被覆する石英製の被覆体とにより薄い面状に形成されていることを特徴とする枚葉式熱処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/324 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 501

FI (4件)：

H01L 21/324 G ,  H01L 21/324 K ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 501 R

Fターム (11件)：

5F045AD10 ,  5F045AD11 ,  5F045AD12 ,  5F045AD13 ,  5F045AD14 ,  5F045DP03 ,  5F045EK08 ,  5F045EK22 ,  5F045EM02 ,  5F045EM07 ,  5F045EM10