特許

J-GLOBAL ID：200903064778298744

反射防止膜

発明者： 枇榔 竜二 ,  安藤 謙二 ,  鈴木 康之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-011749
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218701
出願日： 1994年02月03日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】【目的】 吸収の小さい反射防止膜を提供すること。【構成】 空気側から基板側にかけて順に第1層〜第6層を備え、第1、第3、第5層が低屈折率層、第2、第4、第6層が高屈折率層より成り、高屈折率層がAl2 O3 を含み、低屈折率層がSiO2 を含み、波長248nmの光に対する前記低屈折率層と前記高屈折率層の屈折率を各々NL 、NH とする時、1.45≦NL ≦1.551.60≦NH ≦1.80を満たす。

請求項（抜粋）：

空気側から基板側にかけて順に、Al2 O3 を含む高屈折率層、SiO2 を含む低屈折率層を有し、波長248nmの光に対する前記低屈折率層と前記高屈折率層の屈折率を各々NL 、NH とする時、1.45≦NL ≦1.551.60≦NH ≦1.80を満たすことを特徴とする反射防止膜。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-333834
  
• 特開平3-012605
  
• 特開昭64-061702
  
• 特開昭64-061701