3次元光子結晶体の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡部正夫 (外11名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-510752
公開番号（公開出願番号）：特表平11-513133
出願日： 1996年08月24日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】本発明のシステムは、その基板の表面上に複数の間隔どりされた光子コンポーネントを有する光子コンポーネントの経済的でかつ先行技術の方法に比べ労力の少ない製造のために設計された工程を含んで成る。本発明に従うと、好ましくは蒸気圧を用いて、基板に対し重合可能な膨張剤が適用される。第2段階では、基板表面上の露出した点にある膨張剤は、荷電粒子のビームに露呈される。その屈折率及び高さ方向の輪郭に関して光子結晶体の光学効果を有する固体物質への変換が、これらの点で起こる。本発明の方法によると、特に小型化された形状で改善された物性をもつ光子結晶体を製造することが可能である。

請求項（抜粋）：

基板を基材として用い、粒子線により誘発される堆積工程と合わせて複合リソフグラフィ工程を組込んだ3次元光子結晶体を製造する方法において、 - 好ましくは充分高い蒸気圧を用いて、基板の表面上に重合可能な前駆体物質が吸着されること; - 重合可能な前駆体物質が、基板表面の露出部位において荷電粒子ビームでの照射を受け、これらの露出部位において、重合可能な前駆体物質は、その屈折率及び垂直断面形状が光子結晶体の光学的効果に対応する非揮発性物質へと変換されること; を特徴とする方法。

IPC (3件)：

G02B 6/13 , G02B 5/20 , G02B 5/30

FI (3件)：

G02B 6/12 M , G02B 5/20 , G02B 5/30

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-116605
特開平4-116605
特開平4-116605

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