特許

J-GLOBAL ID：200903064792872631

レーザ照射装置

発明者： 谷口 仁啓 ,  乾 哲也
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  大塩 竹志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-278222
公開番号（公開出願番号）：特開2004-114065
出願日： 2002年09月24日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：

【課題】レーザ光の利用効率の向上、照射領域の拡大および照射面の放射照度分布の均一化を図る。【解決手段】レーザ光源1から出射されるレーザ光を導光体5を介して被照射物11に照射するレーザ照射装置において、導光体5は、レーザ光源1からの光が入射する第一面と、入射されたレーザ光が反射を繰り返しながら進行する第二面および第三面とを有し、第二面もしくは第三面に、レーザ光の一部が導光体の外部へ出射される複数の光出射部が設けられている。また、導光体5の第二面もしくは第三面側に、複数のパターンを設けたマスクを配置して、各光出射部から出射された光がそれぞれ異なるパターンに照射されるようにすることができる。また、レーザ光源1と導光体5との間に、レーザ光のコヒーレンシーを維持したまま不均一な放射照度分布を均一化するための均一化光学素子を配置することが好ましい。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

レーザ光源から出射されたレーザ光を導光体を介して被照射物に照射するレーザ照射装置であって、 該導光体は、レーザ光が入射する第一面と、レーザ光が反射を繰り返しながら進行するように相互に対向して配置された第二面および第三面とを備え、 該第二面もしくは第三面には、レーザ光の一部を該導光体の外部に出射させる複数の光出射部が設けられているレーザ照射装置。

IPC (2件)：

B23K26/06 ,  H01L21/268

FI (2件)：

B23K26/06 Z ,  H01L21/268 J

Fターム (4件)：

4E068CA05 ,  4E068CA08 ,  4E068CD08 ,  4E068CD10