特許
J-GLOBAL ID：200903064793340900
熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-208216
公開番号（公開出願番号）：特開平7-045531
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：
【要約】【目的】 温度測定手段を収納した石英チューブの処理容器内への着脱作業を容易にすると共に、被処理体の温度測定精度を向上させる。【構成】 被処理体Wを熱処理する処理容器26と、処理容器26内で被処理体Wを蓋体40と、処理容器26内の温度を測定するおんど測定手段とを備えた熱処理装置において、温度測定手段を収容した石英チューブ50を蓋体40に形成された孔を通して処理容器26内でほぼ垂直に着脱可能に支持すると共に、処理容器26内の気密性を保持する支持手段54を設けたことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
被処理体を熱処理する処理容器と、この処理容器内で被処理体を支持するボ-トと、このボ-トを保持すると共に前記処理容器を密閉可能な蓋体と、前記処理容器内の温度を測定する温度測定手段とを備えた熱処理装置において、前記温度測定手段を収容した石英チュ-ブを前記蓋体に形成された孔を通して前記処理容器内でほぼ垂直に着脱可能に支持すると共に、前記処理容器内の気密性を保持する支持手段を設けたことを特徴とする熱処理装置。
引用特許：
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