特許
J-GLOBAL ID：200903064799035247
折り畳み式開閉扉
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-196628
公開番号（公開出願番号）：特開平9-041819
出願日： 1995年08月01日
公開日（公表日）： 1997年02月10日
要約：
【要約】【課題】 基板処理装置内に設けられた収納部における収納物の自由度が高く、基板処理装置のメンテナンス時の作業性がよい折り畳み式開閉扉を提供する。【解決手段】 上および下レール部10,60に沿って上ローラ部20a,20bおよび下ローラ部50a,50bが移動自在となっている。扉パネル40aの一方側辺の上部および下部がそれぞれ上ローラ部20aと下ローラ部50aに回動自在に連結されるとともに、扉パネル40bの一方側辺の上部および下部がそれぞれ上ローラ部20bと下ローラ部50bに回動自在に連結される。また、扉パネル40a,40bの他方側辺HTb同士がヒンジ50,51により相互に回動自在に連結される。このため、扉パネル40a,40bを折り畳んだ状態で上レール部10および下レール部60に沿って移動可能である。
請求項（抜粋）：
基板処理装置内に設けられた収納部の開口部に取り付けられる開閉扉において、前記開口部の上部側で前記開口部の水平長手方向に伸びる上レール部と、前記上レール部と平行に前記開口部の下部側に配置された下レール部と、前記上レール部に沿って移動可能な第1および第2上ローラ部と、前記下レール部に沿って移動可能な第1および第2下ローラ部と、その一方側辺の上部および下部が前記第1上ローラ部および前記第1下ローラ部にそれぞれ回動自在に連結された第1扉パネルと、その一方側辺の上部および下部が前記第2上ローラ部および前記第2下ローラ部にそれぞれ回動自在に連結された第2扉パネルと、前記第1および第2扉パネルの他方側辺同士を相互に回動自在に連結するヒンジ部と、を備えることを特徴とする折り畳み式開閉扉。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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