透明導電性フィルム及びその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-151894
公開番号（公開出願番号）：特開2002-343150
出願日： 2001年05月22日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：

【要約】【構成】透明高分子フィルムの一方の主面に、主としてインジウムとスズと酸素とからなる非晶質の透明導電層(ITO膜)をスパッタリング法で形成させたのち、加熱処理をする透明導電性フィルムであって、該ITO膜の成膜時に水素を添加することを特徴とする、エレクトロルミネッセンス発光素子の透明電極用透明導電性フィルム。【効果】平坦性、及び柔軟性に優れた透明導電性フィルムを提供でき、発光素子を作製する際の印刷特性及び耐屈曲性に優れたエレクトロルミネッセンス発光素子を提供できる。

請求項（抜粋）：

透明高分子フィルム(A)の一方の主面に、水素ガスの存在下スパッタリング法により、主としてインジウム原子とスズ原子と酸素原子とからなる非晶質の透明導電層(B)を成膜することを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法。

IPC (4件)：

H01B 13/00 503 , B32B 7/02 104 , C23C 14/08 , H01B 5/14

FI (4件)：

H01B 13/00 503 B , B32B 7/02 104 , C23C 14/08 D , H01B 5/14 A

Fターム (27件)：

4F100AA28B , 4F100AA33B , 4F100AK01A , 4F100AK42 , 4F100BA02 , 4F100EH662 , 4F100EJ582 , 4F100GB41 , 4F100JA11B , 4F100JG01B , 4F100JM02B , 4F100JN01A , 4F100JN01B , 4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029BA50 , 4K029BB10 , 4K029BC09 , 4K029BD00 , 4K029CA06 , 4K029EA05 , 4K029FA07 , 5G307FA02 , 5G307FB01 , 5G307FC10 , 5G323BA02 , 5G323BB05

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