多孔質膜形成用塗布液の製造方法および該塗布液、並びに多孔質膜の製造方法および多孔質膜

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木俊一郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-067334
公開番号（公開出願番号）：特開2003-261823
出願日： 2002年03月12日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：

【要約】【解決手段】本発明に係る多孔質膜形成用塗布液の製造方法は、(A)アルコキシシランおよび/またはその部分加水分解縮合物と、(B)ポリアミック酸と、アミド系溶媒とを含んでなる混合溶液に、さらに水と酸性触媒とを添加して反応溶液を調製し、次いで、(D)-CH2CH2O-で表わされる構成単位を有し、かつ、数平均分子量が1000〜5000であるグリコール系重合体を添加混合することを特徴とする。【効果】本発明に係る多孔質膜形成用塗布液および該塗布液の製造方法によれば、ナノレベルで均一な多孔質膜を製造可能な多孔質膜形成用塗布液を提供することができる。さらに、上記塗布液を用いて製造される本発明の多孔質膜は、耐熱性、機械的強度、低誘電率、弾性、および柔軟性に優れ、層間絶縁膜等の半導体材料の他、絶縁性と強度が要求される各種電気・電子用材料のパッケージ、保護膜等に用いることができる。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式[I]で表わされるアルコキシシラン、および/またはその部分加水分解縮合物と、(B)ポリアミック酸と、(C)アミド系溶媒とを含んでなる混合溶液に、さらに水と酸性触媒とを添加して反応溶液を調製し、次いで、(D)-CH2CH2O-で表わされる構成単位を有し、かつ、数平均分子量が1000〜5000であるグリコール系重合体を添加混合することを特徴とする多孔質膜形成用塗布液の製造方法。【化1】(式[I]中、n=1〜4の整数を示し、R1およびR2は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、または、フェニル基を示し、R1あるいはR2が複数個存在する場合には、R1同士あるいはR2同士は互いに同一でも異なっていてもよい。)

IPC (6件)：

C09D179/08 , C01B 33/14 , C09D171/00 , C09D183/10 , H01B 3/30 , H01L 21/312

FI (8件)：

C09D179/08 Z , C01B 33/14 , C09D171/00 , C09D183/10 , H01B 3/30 D , H01B 3/30 M , H01B 3/30 N , H01L 21/312 C

Fターム (43件)：

4G072AA28 , 4G072BB09 , 4G072BB15 , 4G072CC02 , 4G072EE07 , 4G072FF06 , 4G072GG02 , 4G072GG03 , 4G072HH30 , 4G072JJ41 , 4G072KK01 , 4G072LL14 , 4G072LL15 , 4G072RR05 , 4G072SS10 , 4J038DF011 , 4J038DF012 , 4J038DJ021 , 4J038DJ022 , 4J038DL031 , 4J038DL032 , 4J038MA04 , 4J038NA17 , 4J038PA19 , 5F058AA10 , 5F058AC04 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AH02 , 5G305AA06 , 5G305AA11 , 5G305AB10 , 5G305AB17 , 5G305AB24 , 5G305BA09 , 5G305BA14 , 5G305BA18 , 5G305CA13 , 5G305CA21 , 5G305CB26 , 5G305CD07 , 5G305CD12 , 5G305DA22

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