特許
J-GLOBAL ID：200903064810851302
ワイヤソーのワイヤ張力制御方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-189208
公開番号（公開出願番号）：特開平9-029607
出願日： 1995年07月25日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：
【要約】【課題】ワイヤソーの巻き取りリールの軽量化、低コスト化を可能にするワイヤソーのワイヤ張力制御方法及び装置を提供する。【解決手段】ダンサローラ20、モータ23を含む張力付与手段21、21をワイヤリール12と溝付きローラ22Aの間、及びワイヤリール26と溝付きローラ22Aの間のそれぞれに配設し、ワイヤ供給側においては、制御部からパウダクラッチに所要の電流を流すことにより、モータ23の動力をドラム70に伝え、ロープ68を介してスライダ66に力が加えられる。その結果、ワイヤ14の張力はスライス(切断)加工に必要な高張力Tが付与される。逆に、ワイヤ巻き取り側においては、制御部からパウダクラッチへの電流供給を行わないことでモータ23の動力は前記ドラムに伝わらず、ワイヤ14の張力は低く設定できる。これにより、巻き取り側のワイヤリールに過大な力が加わらず、低剛性のリールを使用することが可能となり、リールの軽量化、低コスト化が可能となる。
請求項（抜粋）：
一対のワイヤリール間を走行するワイヤを複数個の溝付きローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給しながら被加工物を押し当てることにより該被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーに於いて、ワイヤ繰り出し側の第1のワイヤリールと前記溝付きローラの間にワイヤに張力を付与する第1のワイヤ張力付与手段を設け、ワイヤ巻き取り側の第2のワイヤリールと前記溝付きローラの間にワイヤに張力を付与する第2のワイヤ張力付与手段を設け、前記第1及び第2のワイヤ張力付与手段が付与する張力を制御する制御手段を設け、該制御手段により、前記ワイヤ巻き取り側の第2のワイヤ張力付与手段が付与する張力を、前記ワイヤ繰り出し側の第1のワイヤ張力付与手段が付与する張力よりも低張力となるように制御することを特徴とするワイヤソーのワイヤ張力制御方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 27/06 F
, B28D 5/04 C
