特許

J-GLOBAL ID：200903064815954070

画像表示装置用金属隔壁の製造方法

発明者： 斎藤 秀俊 ,  峯 洋二 ,  井上 良二 ,  沢田 良三
出願人/特許権者： 斎藤 秀俊 ,  日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-317716
公開番号（公開出願番号）：特開2001-135223
出願日： 1999年11月09日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】 高性能で、信頼性の高い画像表示装置を提供するために、開口率が高く、且つ十分な絶縁性を備えた金属隔壁の製造を高速化・低コスト化する。【解決手段】 多数の貫通孔を有する隔壁用金属基板に大気開放型化学気相析出法によって酸化物絶縁層を形成する画像表示装置用金属隔壁の製造方法。

請求項（抜粋）：

多数の貫通孔を有する隔壁用金属基板に大気開放型化学気相析出法によって酸化物絶縁層を形成することを特徴とする画像表示装置用金属隔壁の製造方法。

IPC (6件)：

H01J 9/02 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/44 ,  G09F 9/30 320 ,  G09F 9/313 ,  H01J 11/02

FI (6件)：

H01J 9/02 F ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/44 A ,  G09F 9/30 320 ,  G09F 9/313 Z ,  H01J 11/02 B

Fターム (37件)：

4K030AA11 ,  4K030BA43 ,  4K030BB12 ,  4K030CA02 ,  4K030HA04 ,  4K030JA01 ,  4K030JA09 ,  4K030LA18 ,  5C027AA09 ,  5C040FA01 ,  5C040FA04 ,  5C040GB03 ,  5C040GB14 ,  5C040GF19 ,  5C040JA07 ,  5C040KA03 ,  5C040KA11 ,  5C040MA24 ,  5C094AA10 ,  5C094AA36 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094AA47 ,  5C094BA31 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094EC04 ,  5C094ED15 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB02 ,  5C094FB03 ,  5C094FB12 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5C094JA08 ,  5C094JA20