特許
J-GLOBAL ID：200903064821579639
板状体搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-224860
公開番号（公開出願番号）：特開平5-003241
出願日： 1991年08月08日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【構成】 ウエハ搬送装置のピンセット14の先端に段部16aを設け、また、搬送基台12にセンタリング部材18a,18bを設ける。これにより、ウエハを載置したピンセット14が搬送基台12側に移動したときに、段部16aとセンタリング部材18a,18bとで、ウエハを挟み込む。【効果】 ウエハを保持する際に、同時にセンタリングも行なうことができる。したがって、センタリングのためのロス時間がなくなり、一工程少ない分ごみの発生も減少し、さらに、位置合わせ手段を別途設ける必要がないのでコストを削減させることができる。
請求項（抜粋）：
板状体を保持して搬送する板状体搬送装置において、上面に前記板状体を保持可能に構成された板状体保持部材と、この板状体保持部材の予め定められた保持部に設けられた第1の位置決め部材と、前記板状体を載置した前記板状体保持部材が移動したときにこの板状体の側面に当接して前記板状体を位置決めする如く設けられた第2の位置決め部材と、を具備することを特徴とする板状体搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65H 5/14
, B65G 47/88
