特許
J-GLOBAL ID：200903064831603031
弾性表面波装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-107965
公開番号（公開出願番号）：特開平5-304436
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：
【要約】【目的】 広帯域にわたって電気信号から弾性表面波への変換効率が高く、動作帯域幅を改善できる弾性表面波装置を得る。【構成】 半導体でなる基板1上に圧電体薄膜3を形成し、上記圧電体薄膜3の表面に、動作周波数帯の異なる複数対の入力トランスデューサ4aと5a、4bと5b、4cと5cを、上記各対の入力トランスデューサから励振された弾性表面波が互いに逆方向にすれちがって伝搬するように対向して設ると共に、上記圧電体薄膜3の表面上の上記弾性表面波が互いにすれちがう領域に、出力ゲート電極6を設け、かつ、上記圧電体薄膜3の厚さを、上記入力トランスデューサ対の動作周波数帯が低い場所では厚く、高い場所では薄くなるように、上記弾性表面波の伝搬方向に直角な方向に沿って階段状に変化させる。
請求項（抜粋）：
基板上に圧電体薄膜を形成し、上記圧電体薄膜の表面または裏面に、動作周波数帯の異なる複数対の入力トランスデューサを、上記各対の入力トランスデューサから励振された弾性表面波が互いに逆方向にすれちがって伝搬するように対向して設けると共に、上記圧電体薄膜の表面上の上記弾性表面波が互いにすれちがう領域に、出力ゲート電極を設け、かつ、上記圧電体薄膜の厚さを、上記入力トランスデューサ対の動作周波数帯が低い場所では厚く、高い場所では薄くなるように、上記弾性表面波の伝搬方向に直角な方向に沿って階段状に変化させて形成したことを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
