特許

J-GLOBAL ID：200903064836927730

透明電導性酸化錫膜及びその製造方法

発明者： 相川 勝明 ,  大村 心也
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 吉田 勝広 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-216725
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064035
出願日： 1994年08月19日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 3.5×10-3Ω・cm〜20×10-3Ω・cmの範囲の抵抗値を有し、高い透明性を有する透明電導性酸化錫膜の提供。【構成】 錫酸化物(又は錫酸化物とアンチモン酸化物)と、ビスマス、インジウム及びタングステンから選ばれた少なくとも1種の金属の酸化物とを含むことを特徴とする透明電導性酸化錫膜。

請求項（抜粋）：

錫酸化物(又は錫酸化物とアンチモン酸化物)と、ビスマス、インジウム及びタングステンから選ばれた少なくとも1種の金属の酸化物とを含むことを特徴とする透明電導性酸化錫膜。

IPC (5件)：

H01B 5/14 ,  C01G 30/00 ,  C01G 41/00 ,  C23C 14/08 ,  H01B 13/00 503