連続式プラズマ・グラフト処理装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (2件)：鈴江孝一 (外2名) , 鈴江孝一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-117777
公開番号（公開出願番号）：特開2000-309657
出願日： 1999年04月26日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】高機能化付与に適した蒸気圧の低いモノマーを用いる場合も、プラズマ処理による活性化及びグラフト重合またはグラフト化処理を能率的に、かつ均一良好に行なえ、また、全体構造の簡素化及び低コスト化が図れるようにする。【解決手段】高分子素材Sを水平面に沿って連続搬送する搬送装置1の搬送経路に沿いその搬送上手側から下手側にかけて、高分子素材Sの表面を活性化するプラズマ発生装置2と、活性化された高分子素材Sの表面に反応性モノマーを供給し付着するモノマー供給装置3と、反応を促進するように表面を加熱するする高周波誘電加熱装置4と、未反応モノマーを除去するように表面を加熱乾燥する高周波乾燥装置5とを順番に配設している。

請求項（抜粋）：

少なくともヘリウムまたは水素を含む不活性ガスと酸素、含フッ素化合物(フルオロカーボン系)ガスまたはアンモニアを含む反応性気体との混合反応ガスを大気圧もしくは大気圧近傍圧力下で高圧電極と接地電極との間に形成される放電部に導入し通過させるとともに両電極に高周波電力を供給することにより、上記放電部にグロー放電プラズマを発生させて該プラズマにより生成される化学的に活性な励起種を含むガス流を高分子素材の表面に向けて噴出させて該高分子素材の表面を活性化するプラズマ発生装置と、このプラズマ発生装置により活性化された高分子素材の表面にグラフト重合反応性モノマーまたはグラフト化反応性モノマーを供給し付着させるモノマー供給装置と、このモノマー供給装置により反応性モノマーが付着された高分子素材の表面を高周波加熱して反応を促進する高周波加熱装置とが、高分子素材を連続搬送する搬送装置の搬送経路に沿いその搬送上手側から下手側にかけて順に配設されていることを特徴とする連続式プラズマ・グラフト処理装置。

IPC (3件)：

C08J 7/16 , C08J 7/00 306 , D06B 19/00

FI (3件)：

C08J 7/16 , C08J 7/00 306 , D06B 19/00

Fターム (27件)：

3B154AA06 , 3B154AB20 , 3B154AB21 , 3B154AB22 , 3B154BA15 , 3B154BA19 , 3B154BA60 , 3B154BB12 , 3B154BB23 , 3B154BB26 , 3B154BB47 , 3B154BC42 , 3B154BC47 , 3B154BD17 , 3B154BE01 , 3B154DA30 , 4F073AA01 , 4F073AA02 , 4F073AA11 , 4F073BA06 , 4F073CA01 , 4F073CA61 , 4F073CA65 , 4F073CA67 , 4F073CA68 , 4F073DA01 , 4F073DA11

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